Key information

Title
Stabelholder for wafer
Application number
20093257
Case type
National
Status
31.10.2012 Ikke betalt årsavgift
Filed
30.10.2009
Effective date
30.10.2009
Publicly available
07.03.2011
Applicant
Dynatec Engineering AS (NO)
Owner
Dynatec Engineering AS (NO)
Inventor
Josef Filtvedt (NO)
Agent
PROTECTOR IP AS (NO)
Granted
07.03.2011
Patent number
330231

Abstract and drawing

Disclaimer: This text has been machine-scanned and may contain errors – please refer to "Publications" for legally binding content.
Fremgangsmåte for transport av en stabel skiveformede objekter på et transportbånd, en transportinnretning eller liknende, uten at objektene forskyves innbyrdes eller skades under transporten, særpreget ved at et undertrykk anordnes mot minst en del av Sidekantarealet på stabelen. Innretning for utøvelse av fremgangsmåten.

Publications

B1
Checking availability of the latest published version...

Documents

 Expand Download files (2)
Date
 Date Doc. No. Process Case number In/Out Journal description To/from
 23.05.2013 10-01 Saksbehandling 20093257 UT Patent - grace period is over (SPC and granted) (2013.05.23)
09.01.2013 09-01 Saksbehandling 20093257 UT Grace period has started (Patent) (2013.01.09)
05.08.2011 08-01 Saksbehandling 20093257 UT Patent - Reminder of first annual fee (2011.08.05)
16.03.2011 07-01 Saksbehandling 20093257 UT Registreringsbrev Nasjonal Patent
02.03.2011 06-01 Saksbehandling 20093257 UT Patentskrift Protector Intellectual Property Consultants AS
06.12.2010 05-01 Saksbehandling 20093257 UT Medelelse om patent Protector Intellectual Property Consultants AS
25.11.2010 04-03 Saksbehandling 20093257 INN Beskrivelse Protector Intellectual Property Consultants AS
25.11.2010 04-02 Saksbehandling 20093257 INN Hovedbrev Protector Intellectual Property Consultants AS
25.11.2010 04-01 Saksbehandling 20093257 INN Korrespondanse (hoved dok) Protector Intellectual Property Consultants AS
25.05.2010 03-02 Saksbehandling 20093257 UT PT report 02:31:40
25.05.2010 03-01 Saksbehandling 20093257 UT Realitet patent
02.11.2009 02-01 Saksbehandling 20093257 UT PT Infobrev til oppfinner (2009.11.02)
30.10.2009 01-07 Saksbehandling 20093257 INN Figures_Figurer_P3731NO00_146888 Protector Intellectual Property Consultants AS
30.10.2009 01-06 Saksbehandling 20093257 INN Fullmakt Protector Intellectual Property Consultants AS
30.10.2009 01-05 Saksbehandling 20093257 INN Erklæring: søkers rett til oppfinnelse Protector Intellectual Property Consultants AS
30.10.2009 01-04 Saksbehandling 20093257 INN Publ. sammendrag (official abstract) for appnr 20093257 Protector Intellectual Property Consultants AS
30.10.2009 01-04 Saksbehandling 20093257 INN Sammendrag Protector Intellectual Property Consultants AS
30.10.2009 01-03 Saksbehandling 20093257 INN Krav Protector Intellectual Property Consultants AS
30.10.2009 01-02 Saksbehandling 20093257 INN Beskrivelse Protector Intellectual Property Consultants AS
30.10.2009 01-01 Saksbehandling 20093257 INN National Patent Application Form Protector Intellectual Property Consultants AS

Description, claims and drawings

Disclaimer: This text has been machine-scanned and may contain errors – please refer to "Publications" for legally binding content. Description
Den foreliggende oppfinnelse vedrører håndtering av skiver eller plater av materialer, særlig silisium og andre halvledermaterialer. Nærmere bestemt vedrører oppfinnelsen håndtering eller transport av stabler av tørre skiver av materialer, idet oppfinnelsen tilveiebringer en fremgangsmåte og en innretning for slik transport.Ferdige blokker av silisium for solcelleformål deles opp i tynne skiver ved hjelp av trådsag eller andre innretninger. De tynne skivene kalles wafere og har hver en tykkelse på 50 - 250 um, typisk 100 - 200 um. Etter kontroll blir waferne stablet og transportert på et transportbånd eller med en annen transportinnretning til en pakkemaskin. Imidlertid har det vist seg at transporten av stabler eller bunker av slike tørre wafere er problematisk fordi waferne sklir, særlig de øverste waferne, og det oppstår lett skader på de skjøre waferne. På grunn av slike problemer begrenses produksjonstakten og svinnet blir høyt. Den vanlige måten å redusere problemet på er å anordne føringer i form av skinner, vegger eller lignende, idet stabelen av wafere under transport påføres et press mot skinnene eller veggene. De kjente løsninger reduserer problemet noe, men ikke tilstrekkelig, idet forskyvning og skade på waferne under transport til en pakkemaskin, eller annen tilsvarende transport, fortsatt representerer et betydelig problem. Også for transport av skiver eller plater av andre materialer, det være seg andre halvledermaterialer slik som gallium, germanium og andre, også i form av ulike forbindelser slik som galliumarsenid og -nitrid, og andre materialer slik som metaller og papir, finnes iblant tilsvarende problem.Siktemålet med den foreliggende oppfinnelse er å tilveiebringe løsninger på nevnte problem.Siktemålet imøtekommes ved at oppfinnelsen tilveiebringer en fremgangsmåte for transport av en stabel skiveformede objekter på et transportbånd, en transportinnretning eller liknende, uten at objektene forskyves innbyrdes eller skades under transporten, særpreget ved at et undertrykk anordnes mot minst en del av sidekantarealet på stabelen. Praktiske forsøk har vist at utøvelse av fremgangsmåten reduserer eller eliminerer problemet ved realistiske driftsbetingelser, hvilket er overraskende. Uten ønske om å være bundet av teori, antas det at et tynt luftsjikt foreligger mellom skivene, særlig de øvre skivene i stabelen, og et slikt luftsjikt bidrar til problemet. Ved å anordne et undertrykk mot minst en del av sidekantarealet, fortrinnsvis inkludert den øvre del av sidekantarealet, fjernes eller reduseres luftsjiktet, slik at problemet fjernes eller reduseres. Undertrykket kan tilveiebringes på flere måter, alene eller i kombinasjon.En sugeinnretning anordnes med fordel i hovedsak tettende mot et sidekantareal på stabelen for derved å frembringe et undertrykk på nevnte areal ved drift av sugeinnretningen. En annen fordelaktig utførelse omfatter at en blåseinnretning anordnes nær et sidekantareal på stabelen og således at drift av blåseinnretningen frembringer en luftstrøm langs minst en del av sidekantarealet slik at i henhold til Bernoullis effekt tilveiebringes et undertrykk mot sidekantarealet. Med fordel anvendes en kombinert suge- og blåseinnretning som anordnes i hovedsak tettende mot et sidekantareal på stabelen for derved å frembringe et undertrykk på nevnte areal ved drift av innretningen. Med fordel påføres toppen av stabelen en nedad rettet kraft, ved hjelp av en blåse- og/eller sugeinnretning og/eller ved hjelp av en separat innretning, slik som et vektlag lagt på toppen av stabelen. En ytterligere foretrukket utførelse er at et undertrykk anordnes mot diametralt motsatte sidekantarealer på stabelen, slik at eventuelle krefter i horisontalretning påført stabelen av innretningene eliminerer hverandre.Oppfinnelsen tilveiebringer også en innretning for transport av en stabel skiveformede objekter på et transportbånd, en transportinnretning eller liknende, uten at objektene forskyves innbyrdes eller skades under transporten. Innretningen særpreges ved at den omfatter en fleksibel tetningskant, i en ytre ende, for i hovedsak omsluttende anlegg mot og/eller nær minst en del av et sidekantareal på stabelen, innretningen omfatter videre et volum innenfor den ytre ende og en sugeinnretning som er koblet til å suge luft fra nevnte volum.Innretningen omfatter med fordel et fleksibelt rør med en ytre ende som ved drift skal anordnes til i hovedsak å omslutte minst en del av et sidekantareal på øvre del av stabelen, idet innretningen også omfatter en sugevifte som er koblet til en indre ende av det fleksible rør. I en annen fordelaktig utførelse er volumet dannet av et kammer som under drift ligger an mot minst en del av et sidekantareal på stabelen. Med fordel er innretningene anordnet på transportbåndet eller på transportinnretningen og følger derved stabelen under transporten. Alternativt står innretningene i ro men er fordelaktig tett, det vil si med overlappende virkning på stablene, anordnet langs et transportbånd. Innretningene er fordelaktig anordnet på motstående sider av stablene for å eliminere eventuelle krefter påført stablene av innretningene i horisontal retning. Imidlertid er innretningene med fordel så fleksible og myke i den ytre ende at det ikke oppstår krefter som medfører problemer på stablene eller waferne. Praktiske forsøk har vist at effekten av innretningen til å holde stabelen samlet uten innbyrdes forskyvning er større enn effekten av eventuelle krefter påført stabelen i horisontal retning, selv med en innretning på en side av en stabel. Innretningens ytre ende suger seg løst inn mot stabelens sidekant. Undertrykket oppnås ved hjelp av minst to effekter, nærmere bestemt av et undertrykk i volumet bevirket av sugeinnretningen og strøm av luft langs stabelsiden inn over tetningskanten. I tillegg, eller separat, kan en nedad rettet kraft påføres stabelen, enten med en integrert del på innretninger ifølge oppfinnelsen eller med en separat vekt eller trykkinnretning.Det henvises til Fig. 1 som illustrerer en innretning ifølge oppfinnelsen hvor vakuum anordnes på et sidekantareal på en stabel ved hjelp av en fleksibelt rør 6 ført mot et øvre sidekantareal 4 i en vinkel på ca. 45°. Således oppnås et areal 5 med undertrykk som holder waferne på plass. Arealet 5 bør som et minimum dekke de øvre waferlagenes sidekant fordi tyngden av de øvre wafere hjelper til å holde de nedre wafere på plass. Innretningen følger stabelen i samme hastighet, og praktisk utprøving av denne utførelse av oppfinnelsen har vist overraskende gode resultater. Fig. 2 illustrerer en innretning ifølge oppfinnelsen hvor volumet er dannet av et kammer 9. Undertrykkarealet 5 langs stabelens sidekant oppnås særlig ved at luft suges forbi en slags vingeformet tetning som nesten strekker seg til en øvre sidekant på stabelen. Merk at tetningen ikke behøver å ligge an mot sidekanten, det oppstår undertrykk av strømningen i henhold til Bernoullis effekt. Det er ikke nødvendig å ha noen fysisk kontakt mellom innretningen og stabelen, og denne utførelsen er derfor særlig fordelaktig for de tynneste og skjøreste waferne. Slike innretninger kan med fordel anordnes stasjonært og relativt tett langs et transportbånd. Fig. 3 illustrerer en innretning som kan sies å kombinere utførelsene vist på figurene 1 og 2. En undertrykkssone 5 på waferstavbelen 7 oppnås blant annet ved at innretningen omfatter et fleksibelt rør 6 som delvis ligger an mot en øvre sidekant på stabelen. Innretningen kan med fordel følge stabelen under transporten fordi det er fysisk kontakt mellom innretningen og stabelen. Fig. 4 illustrerer en utførelse hvor flere vakuumsoner er anordnet langs minst en av sidene til et transportbånd, slik at en waferstabel alltid vil ha en undertrykksone mot sidekanten. Innretningen står i ro i den illustrerte utførelse mens waferne beveges. Innretningen omfatter mange ytre ender med innenforliggende vakuumsoner operativt koblet til en sugeinnretning, eventuelt anordnes mange innretninger parallelt langs transportbåndet. Selv om tetningskanten er tegnet slik at den er i fysisk kontakt med toppen av waferstabelen på figuren, behøver ikke tetningskanten å være i kontakt med waferstablene. Fig. 5 illustrerer en utførelse hvor en vekt (17) er lagt på toppen av stabelen, enten som en separat innretning eller som en kombinert suge- og/eller blåseinnretning med vekt.Oppfinnelsen omfatter enhver operativ kombinasjon av innretningen og fremgangsmåten ifølge de respektive selvstendige patentkrav med trekk eller trinn beskrevet eller illustrert i dette dokument.
Claims
1.Fremgangsmåte for transport av en stabel skiveformede objekter på et transportbånd, en transportinnretning eller liknende, uten at objektene forskyves innbyrdes eller skades under transporten,karakterisert ved at et undertrykk anordnes mot minst en del av sidekantarealet på stabelen.2.Fremgangsmåte ifølge krav 1, karakterisert ved at en sugeinnretning anordnes i hovedsak tettende mot et sidekantareal på stabelen for derved å frembringe et undertrykk på nevnte areal ved drift av sugeinnretningen.3.Fremgangsmåte ifølge krav 1, karakterisert ved aten blåseinnretning anordnes nær et sidekantareal på stabelen og således at drift av blåseinnretningen frembringer en luftstrøm langs minst en del av sidekantarealet slik at i henhold til Bernoullis effekt tilveiebringes et undertrykk mot sidekantarealet.4.Fremgangsmåte ifølge krav 1-3, karakterisert ved at en suge- og blåseinnretning anordnes i hovedsak tettende mot et sidekantareal på stabelen for derved å frembringe et undertrykk på nevnte areal ved drift av innretningen.5.Fremgangsmåte ifølge krav 1, karakterisert ved å påføre toppen av stabelen en nedad rettet kraft, ved hjelp av en blåse- og/eller sugeinnretning og/eller ved hjelp av en separat innretning.6.Fremgangsmåte ifølge krav 1, karakterisert ved at et undertrykk anordnes mot diametralt motsatte sidekantarealer på stabelen.7.Innretning for transport av en stabel skiveformede objekter på et transportbånd, en transportinnretning eller liknende, uten at objektene forskyves innbyrdes eller skades under transporten, karakterisert ved at innretningen omfatter en fleksibel tetningskant, i en ytre ende, for i hovedsak omsluttende anlegg mot og/eller nær minst en del av et sidekantareal på stabelen, innretningen omfatter videre et volum innenfor den ytre ende og en sugeinnretning som er koblet til å suge luft fra nevnte volum.8.Innretning ifølge krav 7, karakterisert ved at innretningen omfatter et fleksibelt rør med en ytre ende som legges an til i hovedsak å omslutte minst en del av et sidekantareal på øvre del av stabelen, idet innretningen også omfatter en sugevifte som er koblet til en indre ende av det fleksible rør.9.Innretning ifølge krav 7, karakterisert ved at volumet dannes av et kammer som ligger an mot og/eller nær minst en del av et sidekantareal på stabelen.10.Innretning ifølge krav 7, karakterisert ved at den er anordnet på transportbåndet eller på transportinnretningen og derved følger stabelen under transporten.
Drawings

Priority

No priority

Patent classes

IPC classesB65G 49/07H01L 21/677B65H 1/04

Citations

EP 0709876 A1 (A1 )US 5653431 A (A)

Applicants, owners and inventors

Owners
Dynatec Engineering AS
Rakkestadveien 1 1814 ASKIM NO (INDRE ØSTFOLD Municipality, Østfold county)Org. number: 915223818Inventors
Josef Filtvedt
Kråkerudbakken 84 1825 TOMTER NO (INDRE ØSTFOLD Municipality, Østfold county)

Agent

PROTECTOR IP AS
PROTECTOR IP AS

Org. number: 979409524

Name and address are automatically synchronized with the Brønnøysund Register Centre.

Open in The Brønnøysund Register Centre
Pilestredet 33 0166 OSLO NO (OSLO Municipality, Oslo county)
Org. number: 979409524
Reference: P3731NO00-EH

Status history

Payment history

No payment history after 2015

Oppositions and appeals

No oppositions or appeals

Administrative limitation

No administrative limitation

Liens and licences

No liens or licenses registered

Gazette entries

No Gazette entries foundOnly events from 2024.03.04 and onwards are shown.